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世界快播:真空互聯(lián)實驗裝置建成 將為納米材料研究提供新路徑
發(fā)布時間:2023-02-23 08:40:17 文章來源:科技日報
真空互聯(lián)實驗裝置建成將為納米材料研究提供新路徑


【資料圖】

2月18日,中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米真空互聯(lián)實驗站(Nano-X)二期項目通過總體驗收,這為未來納米材料研究及納米器件制造提供了全新路徑與可能。

來自中國科學技術大學、中國科學院化學研究所、中國科學院蘇州醫(yī)工所、中國電子科技集團公司電子科學研究院、蘇州大學5所高校、科研院所組成的7人專家組認為,經(jīng)過兩期建設,實驗站已建成世界上規(guī)模最大、功能最齊全的真空互聯(lián)綜合實驗裝置,項目圓滿完成了合同書規(guī)定的各項研發(fā)任務,達到合同規(guī)定的各項技術指標,整體水平達到國際先進。

Nano-X是集材料原位生長、器件加工、測試分析為一體的材料領域重大綜合科學裝置,面向國家戰(zhàn)略需求和科學前沿重大問題,開創(chuàng)了一條變革性的技術路線,將材料生長、器件工藝、測試分析通過超高真空管道有機互聯(lián)在一起,突破常規(guī)超潔凈環(huán)境下,獨立分散設備難以實現(xiàn)的材料本征特性、原子級精準調控、表/界面調控和異質集成、器件原位制造等局限,為國家戰(zhàn)略材料和前沿材料領域研究提供重要建制化、體系化支撐。

目前,已有近40臺各種大型設備通過203米長的超高真空管道互聯(lián),建成了材料制備模塊、微觀機理準原位分析模塊、跨尺度性能測試模塊、氣氛可控模塊和真空互聯(lián)控制與對接系統(tǒng)等五大模塊平臺,形成了全真空環(huán)境下的納米材料和器件研究開發(fā)的綜合實驗系統(tǒng)。

關鍵詞: 納米材料

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